PETフィルムへシリカ(SiOx) やアルミナ(Al203) をPVDの真空蒸着法やプラズマCVD法によりコーティングしたガスバリアフィルムが、PVDCコートガスバリアフィルムの代替として多用されています。PETボトルへのシリカ蒸着も以前から検討されており、Ｔ杜がPETボトルのSiOx内面蒸着技術を考案しました。この技術は、テトラブリック用ラミネート材のバリア材として開発されたSiOxコートフィルムの技術がベースとなっています。このコーティングプロセスでは、原料のHMDSOと酸素をPETボトル内に導入し、マイクロ波でプラズマ化しています。このボトルは内面コーティングであるため、特に炭酸ガスバリア性に有効なのは、PET樹脂の炭酸ガスに対する溶解度係数が大きく、炭酸飲料ではPET樹脂への炭酸ガスの吸着が問題となっているからです。このコーティングは、ビールボトルに採用された実績があります。他　Ｋ杜、Ｃ社、Ｅ大学、Ｌ社と共同してプラズマ法によるSiOxの外面蒸着技術の開発を行っています。Ｋ杜の発表によると、バリア性能はコーティングにより２倍となり、ビールのシェルフライフは６ヵ月に延長されたとのことです。さらに、プラスチック成形加工の研究機関として実績のあるドイツのＡ大学では、シリカのプラズマコーティングの研究を20世紀後半から続けています。このコーティング原理に基づき、ブロ一成形機メーカーのＳ社が別のシステムを実用化しております。このシステムによるコーテイングボトルは、フルーツジュースボトルに使われています。我が国でも、Ｔ社がシリカのプラズマコーティング技術を開発しています。この技術の被覆膜の特徴は、PETとの密着性や柔軟性に優れる有機ケイ素重合層とバリア性に優れる酸化ケイ素層から成る２層構造になっていることです。バリア特性は、未処理ボトルと比較して、酸素は約３０倍、水蒸気は約１０倍、炭酸ガスは約３倍と発表されています。また、PETボトルからのアセトアルデヒド(AA)溶出やボトルへの香気成分収着も非常に低く抑えられているようです。他社でも、シリカのプラズマコーテイングボトルの開発を行っており、これらのシリカコーティングPETボトルは、高級サラダオイルなどに適用されています。